El ORION NanoFab es in microscopio de iones diseñado para la fabricación de nanoestructuras por debajo de los 10 nm mediante el uso de un haz de helio. Por otro lado, el haz de neón permite formar nanoestructuras a una mayor velocidad mejorando la eficiencia y el rendimiento. Además, ORION hace permite la adquisición de imágenes con una resolución de hasta 0.5 nm.

El Orion NanoFab es un microscopio de iones He y Ne especialmente indicado para la nanofabricación de estructuras que cuenta con un detector de electrones secundarios Everhart Thornley y compensación de carga mediante un flujo de electrones. Las características del equipo son las siguientes:

Columna GFIS: Campo de visión 800 µm – 100 nm a 8 mm WD

Haz de iones Helio:

• Resolución 0.5 nm a 30 kV
• Energía del haz 10 – 30 kV
• Corriente de haz de 0.1 a 100 pA

Haz de iones Neón:

• Resolución 1.9 nm a 25 kV
• Energía del haz 10 – 25 kV
• Corriente de haz de 0.1 a 50 pA

Sistema de adquisición de imagen:

• Tamaño de imagen hasta 2k x 2k píxeles
• Dwell time 100 ns a 100 ms

Muestra: Tamaño máximo 50 mm x 50 mm x 6mm