El ORION NanoFab és un microscopi d'ions dissenyat per a la fabricació de nanoestructures per davall dels 10 nm mitjançant l'ús d'un feix d'heli. D'altra banda, el feix de neó permet formar nanoestructures a una major velocitat millorant l'eficiència i el rendiment. A més, ORION fa permet l'adquisició d'imatges amb una resolució de fins a 0.5 nm.

L'Orion NanoFab és un microscopi d'ions He i Ne especialment indicat per a la nanofabricació d'estructures que compta amb un detector d'electrons secundaris Everhart Thornley i compensació de càrrega mitjançant un flux d'electrons. Les característiques de l'equip són les següents:

Columna GFIS: Camp de visió 800 µm – 100 nm a 8 mm WD

Feix d'ions Heli:

• Resolució 0.5 nm a 30 kV
• Energia del feix 10 – 30 kV
• Corrent de feix de 0.1 a 100 pA

Feix d'ions Neó:

• Resolució 1.9 nm a 25 kV
• Energia del feix 10 – 25 kV
• Corrent de feix de 0.1 a 50 pA

Sistema d'adquisició d'imatge:

• Grandària d'imatge fins a 2k x 2k píxels
• Dwell time 100 ns a 100 ms

Mostra: Grandària màxima 50 mm x 50 mm x 6 mm